坐在周政左手边的一个年轻女研究员开口了。
短头,说话很快。
碳管阵列生长工艺负责人,林恩恩。
“打个比方。硅基晶体管的电子跑起来像在泥地里走路,碳管里的电子像在冰面上滑。
同样的距离,一个喘得要死,一个根本没出汗。”
方墨在角落里轻声嘀咕了一句“冰面上打冰壶。”
林恩恩看了他一眼,没理。
“载流子饱和度四乘十的七次方厘米每秒,硅的四倍。”
周政切到下一页,“更关键的是,碳管的一维薄体结构天然压制短沟道效应。
硅基芯片缩到三纳米以下,量子隧穿漏电堵都堵不住,得靠gaa环栅、背面供电这些复杂架构去兜。
碳管不用。物理结构本身就是答案。”
“所以我们在七纳米节点,用的是最简单的平面顶栅结构。”
陈阳问“器件架构说一下。”
周政右手边的人接过话。
瘦高个,四十出头,左手无名指缠着创可贴——大概是调试设备时划的。
器件架构与集成负责人,陈锋。
跟陈阳同姓,但没有亲戚关系。
“无掺杂cmos。”
陈锋把投影切到器件截面图,“硅基芯片造p型和n型晶体管,得靠离子注入往硅里面砸掺杂原子。
温度上千度,而且砸进去的原子分布不均匀,直接影响器件一致性。”
“我们不掺杂。p型管用钯做源漏电极,n型管用钪。
金属功函数不一样,电子注入行为不一样,晶体管极性就分开了。”
他翻到下一张图,是一组对比数据。
“免掺杂带来两个好处。第一,没有离子注入造成的晶格损伤,器件寿命延长三倍以上。
第二,阈值电压一致性提升一个数量级。
直接反映在良率上——我们批试产的良率是百分之九十二点三。”
苏清妍的笔停了一下,抬头看了陈阳一眼。
百分之九十二点三。
台积电三纳米工艺刚量产时的良率不到百分之八十。
陈阳没有表态,示意继续。
第三个人站起来。
矮胖,说话带江浙口音。
碳管提纯与材料负责人,何建宏。
天奈科技并入的技术骨干。
“原料是整条工艺链的命门。”
何建宏打开自己的笔记本电脑,屏幕上是一组纯度检测报告。
“半导体型碳管纯度要求六个九——百分之九十九点九九九九。少一个九,芯片就会出现随机逻辑错误。
这个指标在三年前全世界没有人能做到公斤级量产。”